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Thin film transistor with multiple gates fabricated using super grain silicon crystallization 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-027/108
출원번호 US-0023640 (2004-12-29)
등록번호 US-7381990 (2008-06-03)
우선권정보 KR-2001-81446(2001-12-19)
발명자 / 주소
  • So,Woo Young
출원인 / 주소
  • Samsung SDI Co., Ltd.
대리인 / 주소
    Stein, McEwen & Bui, LLP
인용정보 피인용 횟수 : 2  인용 특허 : 30

초록

A thin film transistor with multiple gates is fabricated using a super grain silicon (SGS) crystallization process. The thin film transistor a semiconductor layer formed in a zigzag shape on an insulating substrate, and a gate electrode intersecting with the semiconductor layer. The semiconductor l

대표청구항

What is claimed is: 1. A thin film transistor comprising: a semiconductor layer formed in a zigzag shape on an insulating substrate; and a gate electrode intersecting with the semiconductor layer; wherein the semiconductor layer has a high-angle grain boundary in a portion of the semiconductor laye

이 특허에 인용된 특허 (30)

  1. Hayakawa Masahiko,JPX ; Tsukamoto Yosuke,JPX, Active matrix display device having multiple gate electrode portions.
  2. So, Woo-Young, CMOS thin film transistor.
  3. Yamazaki Shunpei,JPX ; Zhang Hongyong,JPX, Display device having a switch with floating regions in the active layer.
  4. Ahn, Byung-Chul, Fabricating method of polysilicon thin film transistor having a space and a plurality of channels.
  5. Nakamoto Masayuki,JPX, Flat panel display device.
  6. Mueller Carl H. (Lakewood CO), Method and apparatus for fabricating weak link junctions on vicinally cut substrates.
  7. Muramatsu, Shinichi; Minakawa, Yasushi; Oka, Fumihito; Sasaki, Tadashi, Method for forming crystalline silicon layer and crystalline silicon semiconductor device.
  8. Guo-Ren Hu TW; Ying-Chia Chen TW; Chi-Wei Chao TW; Yew-Chung Wu TW; Yao-Lun Hsu TW; Yuan-Tung Dai TW; Wen-Tung Wang TW, Method for forming thin film transistor.
  9. Yasuhiko Takemura JP, Method for manufacturing a semiconductor device.
  10. Zhang Hongyong (Kanagawa JPX) Uochi Hideki (Kanagawa JPX) Takayama Toru (Kanagawa JPX) Fukunaga Takeshi (Kanagawa JPX) Takemura Yasuhiko (Kanagawa JPX), Method for manufacturing semiconductor device.
  11. Zhang Hongyong (Kanagawa JPX) Teramoto Satoshi (Kanagawa JPX), Method of fabricating a thin film transistor using a nickel silicide layer to promote crystallization of the amorphous s.
  12. So,Woo Young, Method of fabricating a thin film transistor with multiple gates using metal induced lateral crystallization.
  13. Kobori, Isamu; Arai, Michio, Method of fabricating a thin-film transistor having a plurality of island-like regions.
  14. Yamazaki Shunpei,JPX ; Ohtani Hisashi,JPX, Method of manufacturing a crystalline semiconductor.
  15. Ahn, Byung-Chul, Polysilicon thin film transistor used in a liquid crystal display and the fabricating method.
  16. Yamanaka Hideo,JPX ; Yamoto Hisayoshi,JPX ; Sato Yuichi,JPX ; Yagi Hajime,JPX, Process for producing electrooptical apparatus and process for producing driving substrate for electrooptical apparatus.
  17. Owen Jefferson Eugene ; Balakrishnan Jeyendran, Reducing the memory required for decompression by storing compressed information using DCT based techniques.
  18. Zhang, Hongyong; Takayama, Toru; Takemura, Yasuhiko; Miyanaga, Akiharu, Semiconductor device and fabrication method of the same.
  19. Yamazaki Shunpei,JPX ; Zhang Hongyong,JPX ; Takemura Yasuhiko,JPX, Semiconductor device and method of fabricating the same.
  20. Takemura Yasuhiko (Kanagawa JPX), Semiconductor device having transistors with different orientations of crystal channel growth with respect to current ca.
  21. Zhang Hongyong (Yamato JPX) Takayama Toru (Yokohama JPX) Takemura Yasuhiko (Atsugi JPX) Miyanaga Akiharu (Hadano JPX), Semiconductor device including a plurality of thin film transistors at least some of which have a crystalline silicon fi.
  22. Ferrari Paolo,ITX ; Foroni Mario,ITX ; Vigna Benedetto,ITX ; Villa Flavio,ITX, Semiconductor integrated capacitive acceleration sensor and relative fabrication method.
  23. So, Woo-Young, Thin film transistor and method of manufacturing the same.
  24. Yi Jong-Hoon,KRX ; Lee Sang-Gul,KRX, Thin film transistor having a crystallization seed layer and a method for manufacturing thereof.
  25. Lee, Seok Woon; Joo, Seung Ki, Thin film transistor including polycrystalline active layer and method for fabricating the same.
  26. So,Woo Young, Thin film transistor with multiple gates using metal induced lateral crystalization and method of fabricating the same.
  27. So, Woo-Young, Thin film transistor with multiple gates using metal induced lateral crystallization and method of fabricating the same.
  28. Ting-Chang Chang TW; Ching-Wei Chen TW, Thin film transistor with reduced metal impurities.
  29. Furuta Mamoru,JPX, Thin film transistor, manufacturing method therefor and liquid crystal display unit using the same.
  30. Voutsas, Apostolos; Mitiani, Yasuhiro; Crowder, Mark A., Variable quality semiconductor film substrate.

이 특허를 인용한 특허 (2)

  1. Nelson, Sherri M.; Eastep, David W.; Tibor, Timothy L.; Regan, Timothy A.; Wesley, Michael L.; Steihm, Richard, Composite core for electrical transmission cables.
  2. Yang, Tae-Hoon; Lee, Ki-Yong; Seo, Jin-Wook; Park, Byoung-Keon, Heat treatment apparatus and heat treatment method using the same.
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