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특허 상세정보

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Strain detection for automated nano-manipulation

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) G01B-005/00   
미국특허분류(USC) 073/866.5; 977/849; 033/559
출원번호 US-0186072 (2005-07-21)
등록번호 US-7395727 (2008-07-08)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
대리인 / 주소
    Thomas,John A.
인용정보 피인용 횟수 : 4  인용 특허 : 9
초록
▼

A strain detector for in-situ lift-out, comprises a nano-manipulator probe shaft; a strain gauge mounted on the probe shaft; and a first cut-out on the probe shaft. The first cut-out has a rectangular cross-section. There is a second cut-out on the probe shaft; the second cut-out having a semicircular cross-section. The second cut-out is positioned on the shaft opposite from the first cut-out; the first and second cut-out, thus defining a thinned region in the probe. The strain gauge is mounted on the probe shaft at the location of the thinned region. T...

대표
청구항
▼

I claim: 1. A strain detector for in-situ lift-out, comprising: a probe shaft; a first cut-out on the probe shaft; a second cut-out on the probe shaft, the second cut-out opposite from the first cut-out; the first and second cut-outs defining a first thinned region in the probe shaft; a first strain gauge mounted on the probe shaft at the location of the first thinned region; a third cut-out on the probe shaft; a fourth cut-out on the probe shaft, the fourth cut-out opposite from the third cut-out; the third and fourth cut-outs defining a second thinned...

이 특허에 인용된 특허 (9)

  1. Hofstetter ; Jr. Edward G. (Louisville KY). Apparatus for making rheological measurements. USP1979044148215.
  2. Spirin, Vasilii V.; Shlyagin, Mikhail G.; Udd, Eric. Differential fiber optical sensor with interference energy analyzer. USP2004096795599.
  3. Lee ; Jr. Landris T. ; Leavell Daniel A. ; Malone Philip G.. Geotechnical grouting device and method. USP1998105819850.
  4. Lin Yung-Shi,TWX. High-sensitivity strain probe. USP2000116148662.
  5. Horanoff ; Eugene V.. Low interaction wind tunnel balance. USP1978024074567.
  6. Smith, Terry J.. Method and apparatus for measuring normal contact forces in electrical connector. USP1983044380171.
  7. Hantschel, Thomas; Chow, Eugene M.; Fork, David K.. Scanning probe system with spring probe. USP2004096788086.
  8. Suzuki, Hidekazu. Thin piece forming method. USP2003036527967.
  9. Sokol George J. (Scotia NY). Tube curvature measuring probe and method. USP1990034910877.

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 4

  1. Confield, Ivan Fyfe; MacKay, Derek Gray; Melville, Robert George Andrew; Harvey, David. Lift measurement. USP2010027658113.
  2. Bowden, Frank Roger. Load monitoring system. USP2013118584800.
  3. Luo, Jian Shing; Huang, Lang Yu. Method of fabricating sample membranes for transmission electron microscopy analysis. USP2009057538322.
  4. Terada, Shohei. Specimen holder for charged-particle beam apparatus. USP2015059024275.

IPC 상위 출원인