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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0870173 (2004-06-18) |
등록번호 | US-7416611 (2008-08-26) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 5 인용 특허 : 102 |
In a method and apparatus for cleaning or processing a workpiece, a process gas is brought into contact with the workpiece by diffusion through a heated liquid layer on the workpiece, and by bulk transport achieved by entraining the gas in a liquid stream, spray or jet impinging on the workpiece. T
The invention claimed is: 1. A method for cleaning a workpiece comprising: heating a liquid to a temperature ranging from 50�� C. to about 200�� C.; placing the workpiece into a chamber; moving the liquid in a fluid flow line to the chamber; entraining ozone gas into the liquid by injecting ozone g
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