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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0985839 (2004-11-10) |
등록번호 | US-7422406 (2008-09-09) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 27 인용 특허 : 87 |
Methods and systems are provided for a vacuum-based semiconductor handling system. The system may be a linear system with a four-link robotic SCARA arm for moving materials in the system. The system may include one or more vertically stacked load locks or vertically stacked process modules.
The invention claimed is: 1. A method of handling a wafer in a semiconductor manufacturing system that includes a plurality of vertically stacked loading stations coupled to a shared vacuum environment and a plurality of process modules arranged in a linear system having a loading end and an exit e
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