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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0609862 (2003-06-30) |
등록번호 | US-7427338 (2008-09-23) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 11 인용 특허 : 12 |
An apparatus comprising an electrolyte cell, an anode, and a porous rigid diffuser. The electrolyte cell is configured to receive a substrate to have a metal film deposited thereon. An anode is contained within the electrolyte cell. A porous rigid diffuser is connected to the electrolyte cell and ex
The invention claimed is: 1. An electrochemical plating cell, comprising: a cell body configured to contain a plating solution and having an open upper portion configured to receive a substrate for plating; an anode positioned in the cell body; and a substantially rigid diffusion member positioned
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