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Shield arrangement for a vacuum cell

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01L-021/30
  • G01L-021/00
출원번호 US-0602797 (2006-11-21)
등록번호 US-7443169 (2008-10-28)
발명자 / 주소
  • Bj��rkman,Per
  • W��lchli,Urs
  • Hanselmann,Hansjakob
  • Duris,Stanislav
  • W��est,Martin
출원인 / 주소
  • Inficon GmbH
대리인 / 주소
    Notaro & Michalos P.C.
인용정보 피인용 횟수 : 3  인용 특허 : 6

초록

A shield arrangement for a vacuum measuring cell has a tubular shield housing encompassing a shield and an exit port for connection to a vacuum measuring cell and a connection opening for the object space to be measured. The shield is between the two openings and is implemented as a screw shield wit

대표청구항

The invention claimed is: 1. A vacuum measuring cell (15) with a shield arrangement (25) for performing a protective function by decreasing contamination of the vacuum measuring cell in order to increase service life of the measuring cell while ensuring high measuring precision and reproducibility

이 특허에 인용된 특허 (6)

  1. Sharpless, Leonard J.; Benjamin, Neil; Fish, Jeffrey W., Capacitive manometer having reduced process drift.
  2. Bjoerkman, Per; Olsson, Ray, Capacitive vacuum measuring cell.
  3. Leonard Robert F. (Trumbull CT) Styckiewicz Carl J. (Meridan CT), Diaphragm type fluid pressure gauge.
  4. Brede Uwe (Furth DEX) Kraft Josef (Berg DEX), Gas leakage monitoring of a gas or liquid container.
  5. Rosenstein Michael (Sunnyvale CA) Grunes Howard (Santa Cruz CA) Brodsky Stephen Bruce (Fishkill NY), Screwless shield assembly for vacuum processing chambers.
  6. Moss Robert A. (Holland NY) Kitchens ; II Jack C. (Kenmore NY), Stop mechanism for a diaphragm pressure transducer.

이 특허를 인용한 특허 (3)

  1. Ferran, David J.; Ferran, Robert J., Apparatus and method for automatic detection of diaphragm coating or surface contamination for capacitance diaphragm gauges.
  2. Gu, Lei; Bart, Stephen F., MEMS pressure sensors with integrated baffles.
  3. Nishikawa, Yoshihiro, Sensor device having body, pressure sensor, insert with helically shaped groove and temperature sensor.
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