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특허 상세정보

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Particle deposition system and method

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) C03B-037/07    C03B-037/00   
미국특허분류(USC) 065/377; 065/421; 065/435
출원번호 US-0897784 (2004-07-23)
등록번호 US-7451623 (2008-11-18)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
대리인 / 주소
    Hogan & Hartson LLP
인용정보 피인용 횟수 : 1  인용 특허 : 8
초록
▼

A deposition system for depositing a chemical vapor onto a workpiece, including a deposition chamber having a plurality of components for performing chemical vapor deposition on the workpiece. The deposition chamber includes an inner skin made of Hasteloy for sealing the plurality of components and the workpiece from the air surrounding the deposition system, and an outer skin that encloses the inner skin and is separated from the inner skin by an air gap. The outer skin includes vents that create a convection current in the air gap between the inner ski...

대표
청구항
▼

What is claimed is: 1. A method of depositing silica particles onto a workpiece comprising the steps of: (a) obtaining a workpiece; (b) depositing silica particles on the workpiece; (c) translating the workpiece relative to the depositing of silica particles; wherein the translating step is performed by selectively translating the workpiece relative to the deposition at a rate greater than about 3.0 meters per minute; and (d) selectively causing a relative acceleration between an end of the workpiece and the deposition, the relative acceleration having ...

이 특허에 인용된 특허 (8)

  1. Berkey George E. (Corning NY). Devitrification resistant flame hydrolysis process. USP1984124486212.
  2. Gilliland John W. (Horseheads NY). Forming optical fiber having abrupt index change. USP1989034810276.
  3. Sanghera Jasbinder S. (Greenbelt MD) Pureza Pablo C. (Burke VA) Aggarwal Ishwar D. (Fairfax Station VA). Method of forming waveguides with ion exchange of halogen ions. USP1994035294240.
  4. Sarkar Arnab (West Hills CA). Methods of making optical waveguides. USP1996095558693.
  5. Sarkar Arnab (Westhills CA). Optical fiber and method of producing same. USP1986074599098.
  6. Andrejco Matthew J. (Wrightstown NJ) MacChesney John B. (Lebanon NJ). Optical fiber fabrication process. USP1981034257797.
  7. Burke Gerald Eugene ; Truesdale Carlton Maurice. Process for forming a titania-containing preform silica glass blank. USP2001026189340.
  8. Blankenship Michael G. (Corning NY). Reactant delivery system method. USP1982024314837.

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 1

  1. Dabby, Franklin W; Orchanian, Bedros. Particle deposition system and method. USP2014018635888.

IPC 상위 출원인