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특허 상세정보

Particle deposition system and method

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) C03B-037/07    C03B-037/00   
미국특허분류(USC) 065/377; 065/421; 065/435
출원번호 US-0981180 (2004-11-04)
등록번호 US-7451624 (2008-11-18)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
대리인 / 주소
    Hogan & Hartson LLP
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 9
초록

A deposition system for depositing a chemical vapor onto a workpiece is disclosed, including a deposition chamber having a plurality of components for performing chemical vapor deposition on the workpiece. The deposition chamber includes an inner skin made of Hasteloy for sealing the plurality of components and the workpiece from the air surrounding the deposition system, and an outer skin that encloses the inner skin and is separated from the inner skin by an air gap. The outer skin includes vents that create a convection current in the air gap between...

대표
청구항

What is claimed is: 1. A method of manufacturing optical fiber comprising the steps of: (a) obtaining a start rod, (b) depositing fused silica on the start rod to produce an optical fiber preform; and (c) drawing the optical fiber preform into the optical fiber; wherein the depositing step comprises steps of rotating the start rod and translating the start rod relative to the deposition of fused silica at a rate at times greater than about 1.4 meters per minute, and wherein as the ends of the start rod approach the deposition, selectively causing a rela...