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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0985834 (2004-11-10) |
등록번호 | US-7458763 (2008-12-02) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 26 인용 특허 : 93 |
In a system having a number of semiconductor processing modules sharing a common vacuum environment, a mid-entry load lock is provided to permit insertion and removal of wafers into the vacuum environment at a point between various other robotic handlers, process modules, and load locks. This arrang
The invention claimed is: 1. A method for processing a workpiece comprising: arranging a plurality of processing modules in a sequence to sequentially operate on a workpiece in a vacuum environment, each one of the plurality of processing modules coupled to the vacuum environment and positioned alo
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