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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0176658 (2005-07-08) |
등록번호 | US-7481889 (2009-01-27) |
우선권정보 | JP-2001-069422(2001-03-12) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 2 인용 특허 : 18 |
To provide a film forming apparatus in which an impurity contained in an organic compound is separated to be removed and a film is formed without decreasing the purity of the purified organic compound, whereby a high-purity organic compound is formed. A film forming apparatus of the present inventio
What is claimed is: 1. A film forming apparatus comprising: a film forming chamber comprising a substrate holder; a purifying chamber, wherein the film forming chamber comprises a vaporization source, wherein the purifying chamber comprises a plurality of containers, a heater, and a carrier mechani
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