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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0498939 (2002-12-13) |
등록번호 | US-7495046 (2009-02-24) |
우선권정보 | JP-2001-382996(2001-12-17); JP-2002-256724(2002-09-02) |
국제출원번호 | PCT/JP02/013048 (2002-12-13) |
§371/§102 date | 20041118 (20041118) |
국제공개번호 | WO03/051999 (2003-06-26) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 3 인용 특허 : 6 |
The present invention provides a crosslinkable elastomer composition, in which generation of HF under high temperature conditions is reduced, the decrease in weight to both NF3 plasma treatment and O3 treatment in the semiconductor manufacturing process is small and generation of foreign substances
The invention claimed is: 1. A crosslinkable elastomer composition comprising (a) a crosslinkable elastomer and (b) a filler having (i) a specific surface area of at least 2 m2/g and (ii) containing a synthetic polymer having a thermally and chemically stable aromatic ring in the main chain. 2. T
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