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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0276338 (2006-02-24) |
등록번호 | US-7495301 (2009-02-24) |
우선권정보 | JP-2005-229886(2005-08-08) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 8 |
A thin film structure including a conductive thin film provided on a substrate and configured to be displaced in response to an applied acceleration, a pair of electrode pads formed on the substrate such that the pair of electrode pads are disposed on respective sides of the thin film, and a noncond
The invention claimed is: 1. A thin film structure comprising: a conductive thin film provided on a substrate and configured to be displaced in response to an applied acceleration; a pair of electrode pads formed on said substrate such that the pair of electrode pads are disposed on respective side
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