최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0802451 (2007-05-23) |
등록번호 | US-7510933 (2009-03-31) |
우선권정보 | JP-2001-335371(2001-10-31) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 8 |
Provided is a fabrication method of a semiconductor integrated circuit device, which comprises disposing, in a ultrapure water preparing system, UF equipment having therein a UF module which has been manufactured by disposing, in a body thereof, a plurality of capillary hollow fiber membranes compos
What is claimed is: 1. A method of fabrication of a semiconductor integrated circuit device, comprising the steps of: (a) introducing first water into a first water purifying system, and sending out first purified water from said first water purifying system; (b) introducing said first purified wat
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.