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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | UP-0531599 (2006-09-13) |
등록번호 | US-7514935 (2009-07-01) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 25 인용 특허 : 17 |
A system and method for managing power delivered to a processing chamber is described. In one embodiment power is delivered to the processing chamber with a power cable, the power cable storing energy and including a first and second conductors, the first conductor having a first voltage polarity re
What is claimed is: 1. An apparatus comprising: a first and second output terminals; a power module configured to provide a voltage with a first polarity to the first and second output terminals, each of the first and second output terminals adapted to couple with a corresponding one of two conduct
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