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Methods and apparatus for symmetrical and/or concentric radio frequency matching networks 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H03H-007/38
출원번호 UP-0507649 (2006-08-21)
등록번호 US-7518466 (2009-07-01)
발명자 / 주소
  • Sorensen, Carl
  • White, John M.
출원인 / 주소
  • Applied Materials, Inc.
대리인 / 주소
    Dugan & Dugan PC
인용정보 피인용 횟수 : 19  인용 특허 : 4

초록

Apparatus and methods are provided that are adapted to match the impedance of an electrical load to an impedance of an electrical signal generator. The invention includes providing a plurality of electrical components adapted to collectively match the impedance of the electrical load to the impedanc

대표청구항

The invention claimed is: 1. An apparatus, comprising: a first connector having a first longitudinal axis; a second connector having a second longitudinal axis; and a component assembly including one or more components, wherein at least one of the components is coupled to the first connector and at

이 특허에 인용된 특허 (4)

  1. Kondo, Kazuki; Matsuno, Daisuke; Kaneko, Eiji; Itadani, Koji, Impedance matching device.
  2. Farrell Regis C. (Anaheim CA) Hornsby James J. (Camarillo CA), Inductively coupled plasma spectrometers and radio-frequency power supply therefor.
  3. Choi, Dae-Kyu; Min, Young-Min; Chon, Sang-Mun; Yang, Yun-Sik; Kim, Jin-Man, RF matching unit.
  4. Su, Yuh-Jia; Chen, David Lee; Decaux, Vincent Bernard, Single-tube interlaced inductively coupling plasma source.

이 특허를 인용한 특허 (19)

  1. Kudela, Jozef; Shinde, Ranjit I.; Anwar, Suhail, Compact configurable modular radio frequency matching network assembly for plasma processing systems.
  2. Bhutta, Imran Ahmed, Electronically variable capacitor and RF matching network incorporating same.
  3. Bhutta, Imran Ahmed, High speed high voltage switching circuit.
  4. Bhutta, Imran, High voltage switching circuit.
  5. Proudkii, Vassilli P.; Yarborough, Joe Michael; McNeil, Kirk, Method and apparatus for electromagnetically producing a disturbance in a medium with simultaneous resonance of acoustic waves created by the disturbance.
  6. Proudkii, Vassilli P.; McNeil, Kirk; Yarborough, Joe Michael, Method and apparatus for excitation of resonances in molecules.
  7. Proudkii, Vassilli P.; McNeil, Kirk; Yarborough, Joe Michael, Method and apparatus for multiple resonant structure process and reaction chamber.
  8. Schulte, David J., Power generator.
  9. Schulte, David J., Power generator.
  10. Bhutta, Imran Ahmed, RF impedance matching network.
  11. Bhutta, Imran Ahmed, RF impedance matching network.
  12. Bhutta, Imran Ahmed, RF impedance matching network.
  13. Bhutta, Imran Ahmed, RF impedance matching network.
  14. Mavretic, Anton, RF impedance matching network.
  15. Mavretic, Anton, RF impedance matching network.
  16. Mavretic, Anton, Switching circuit.
  17. Mavretic, Anton, Switching circuit.
  18. Mavretic, Anton, Switching circuit for RF currents.
  19. Anwar, Suhail; Sorensen, Carl A.; Kudela, Jozef, Systems and methods for improved radio frequency matching networks.
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