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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | UP-0718653 (2003-11-24) |
등록번호 | US-7563343 (2009-07-29) |
우선권정보 | JP-2002-348788(2002-11-29) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 1 인용 특허 : 2 |
In a film lamination apparatus and method, there is no one-side contact of a pressing roller that presses a film to be laminated. The film is laminated using a rotatable pressing roller having a heater incorporated therein. The pressing roller is pressed onto the film placed on a semiconductor subs
What is claimed is: 1. A film lamination method for laminating a film on a principal surface of a semiconductor substrate by using a rotatable roller having a diameter of about 20-50 mm, a heat-generating part therein and an elastically deformable resin layer on an outer surface thereof, the film l
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