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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | UP-0010506 (2001-11-13) |
등록번호 | US-7568445 (2009-08-24) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 5 인용 특허 : 24 |
An apparatus and method for hologram induced deposition of material for use in the formation of three-dimensional structures is described. An electromagnetic energy source may be directed in the form of a hologram to a process chamber with a medium. The medium may be an organometallic gaseous mediu
What is claimed is: 1. An apparatus to deposit a three-dimensional structure comprising: a holographic projector comprising a laser source supplying a laser beam directed via optics to a phase spatial light modulator to project a series of holograms; and a processing chamber, wherein the processing
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