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Wafer container with sealable door 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B65D-045/16
  • B65D-045/00
  • B65D-053/00
  • B65D-053/02
출원번호 UP-0108349 (2005-04-17)
등록번호 US-7578407 (2009-09-08)
발명자 / 주소
  • Tieben, Anthony Mathius
  • Lystad, John
출원인 / 주소
  • Entegris, Inc.
대리인 / 주소
    Patterson, Thuente, Skaar & Christensen, P.A.
인용정보 피인용 횟수 : 7  인용 특허 : 18

초록

A wafer container including an enclosure portion with a door frame defining an opening for insertion and removal of wafers and a door fittable in the door frame to seal the enclosure portion. A continuous elastomeric seal extends around the door inward of the periphery. The seal is positioned on a s

대표청구항

What is claimed is: 1. A sealable container for holding a plurality of wafers, the container comprising: an enclosure portion defining an interior space for receiving the wafers, the enclosure portion having an open side defined by a door frame, the door frame presenting a frame periphery and havin

이 특허에 인용된 특허 (18)

  1. Reynolds Gerald D. ; Gallagher Gary M. ; Burns John ; Smith Mark V., Filter cartridge assembly for a gas purging system.
  2. Hosoi Masato,JPX, Identification structure of a substrate storage container and method of identifying a substrate storage container.
  3. Dennis J. Krampotich ; D. Kerry Kiser ; Michael D. Peterson, Seal for wafer containers.
  4. Yajima,Toshitsugu; Kamada,Toshiyuki, Seal member, and substrate storage container using the same.
  5. Bonora Anthony C. (Menlo Park CA) Wartenbergh Robert P. (Woodside CA) Jain Sudhir (Fremont CA) Davis Mark R. (Mountain View CA), Sealable transportable container having improved liner.
  6. Bonora Anthony C. ; Rosenquist Frederick T. ; Jain Sudhir ; Davis Mark R., Sealable, transportable container having a breather assembly.
  7. Simm Hans-Peter (Wuppertal DEX) Ghne Wieland (Remscheid DEX) Hoffmann Klaus (Haan DEX), Sealing arrangement for tubular elements of floor care device.
  8. Clements Harold J. (20 St. Michaels Close Canterbury ; Kent GB2), Sealing devices.
  9. Johnson Douglas M. (Waconia MN), Shipping container for semiconductor substrate wafers.
  10. Mortensen Roger (Excelsior MN) Gregerson Barry (Excelsior MN), Storage box.
  11. Bonora, Anthony C.; Gallagher, Gary M.; Ng, Michael, System for preventing improper insertion of FOUP door into FOUP.
  12. Chauhan,Abhay Singh; Chalasani,Kishore Babu; Surapanini,Sridevi; Yandrapu,Sharath Kumar; Kataram,Rajasekhar; Chary,Govardhana Maroju; Diwan,Prakash Vamanrao; Raghavan,Kondapuram Vijaya, Therapeutic/edible compositions comprising herbal ingredients and methods for treating hyperglycemia.
  13. Urbanek Karel (Weston CAX) Bleiweiss Arthur F. (Toronto CAX), Vehicle marker lamp.
  14. Nyseth David L., Wafer carrier with door.
  15. Nyseth David L. (Plymouth MN), Wafer cushions for wafer shipper.
  16. Eggum, Shawn D., Wafer enclosure sealing arrangement for wafer containers.
  17. Mikkelsen Kirk J. ; Adams Michael S. ; Bores Greg ; Wiseman Brian S., Wafer enclosure with door.
  18. Gregerson Barry (Chanhassen MN), Wafer suspension box.

이 특허를 인용한 특허 (7)

  1. Rowland, Clifford M.; Schmidt, William L., Closure lip seal relief.
  2. Miki, Yohei; Furubayashi, Jun, Gasket.
  3. Bornhof, Hans-Ulrich; Diekmeyer, Heinrich; Eggebrecht, Detlev, Housing for an electronic or mechtronic unit including seal with pressure relief device.
  4. Ozawa, Kazunori; Inoue, Kazuya; Tomita, Minoru, Substrate storing container.
  5. Tauchi, Susumu; Makino, Akitaka, Vacuum processing apparatus.
  6. Tauchi, Susumu; Makino, Akitaka, Vacuum processing apparatus.
  7. Gregerson, Barry; Fuller, Matthew A., Wafer container with door interface seal.
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