최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | UP-0329095 (2006-01-11) |
등록번호 | US-7579224 (2009-09-08) |
우선권정보 | JP-2005-014756(2005-01-21) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 29 인용 특허 : 20 |
It is an object of the present invention to simplify steps needed to process a wiring in forming a multilayer wiring. In addition, when a droplet discharging technique or a nanoimprint technique is used to form a wiring in a contact hole having a comparatively long diameter, the wiring in accordance
What is claimed is: 1. A method for manufacturing a semiconductor device comprising the steps of: forming a first insulating film over a semiconductor substrate; forming a second insulating film over the first insulating film; forming a first opening that reaches the first insulating film in the se
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.