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Deposition method for semiconductor laser bars using a clamping jig 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C23C-016/00
  • C23C-016/06
출원번호 UP-0940415 (2007-11-15)
등록번호 US-7595089 (2009-10-12)
우선권정보 JP-2003-135090(2003-05-13)
발명자 / 주소
  • Mitsui, Nobuyuki
  • Inada, Hiroshi
출원인 / 주소
  • Sumitomo Electric Industries, Ltd.
대리인 / 주소
    Fish & Richardson P.C.
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 22

초록

A clamping jig for mounting semiconductor laser bars includes: multiple supporting bars for holding laser bars therebetween; a pair of supporting plates each of which has a mounting face for mounting the supporting bars in a row; a pressing member for pressing the supporting bars for holding the las

대표청구항

What is claimed is: 1. A vapor deposition method for semiconductor laser bars, the method comprising: preparing a clamping jig for mounting semiconductor laser bars, the clamping jig comprising: a plurality of supporting bars each of which has a pair of laser-bar supporting faces respectively provi

이 특허에 인용된 특허 (22)

  1. Worsham Daniel A. (San Jose CA), Apparatus for unloading wafers from a hot boat.
  2. Thompson Michael S. (North Richland Hills TX) Hubbard Steven R. (Decatur TX) Jackson Franklin D. (Decatur TX), Cage boat having removable slats.
  3. Hofmeister Lucien (Mountain View CA) Schulte Harvey L. (Los Altos CA), Carrier for semiconductive wafers.
  4. Schulte Harvey L. (Los Altos CA), Carrier for semiconductive wafers.
  5. Boehm Udo (Ludwigshafen DEX) Schaefer Dieter (Lindenberg DEX) Weber Adam (Ludwigshafen DEX), Container for a plurality of disk-shaped articles and container part thereof.
  6. Yabe Hisao (Hachioji JPX) Eino Teruo (Hachioji JPX), Endoscope using a chip carrier type solid state imaging device.
  7. Hoden Brian P. ; Jacob Jon B., Laser diode assembly.
  8. deGeest ; Jr. Charles E. (Marble Falls TX), Mass transferable semiconductor substrate processing and handling full shell carrier (boat).
  9. Sato Tsutomu (Niigata JPX) Yoshimura Yasushi (Niigata JPX), Method and apparatus for mounting slice base on wafer of semiconductor.
  10. Maher, Jr., Joseph A.; Zafiropoulo, Arthur W., Multi-planar electrode plasma etching.
  11. Asano Takanobu (Yokohama JPX) Yamaga Kenichi (Sagamihara JPX) Ohkase Wataru (Sagamihara JPX), Pitch changing device for changing pitches of plate-like objects and method of changing pitches.
  12. Engle George M. (Phoenix AZ), Plasma enhanced chemical vapor deposition wafer holding fixture.
  13. Blome Eugene R. (San Jose CA), Processing, shipping and/or storage container for photomasks and/or wafers.
  14. Little Michael J. (Tarzana CA) Brown Roger H. (Burbank CA) Efron Uzi (Los Angeles CA) Hoberg Clarence P. (Pacific Palisades CA), Self-compensating hydrostatic flattening of semiconductor substrates.
  15. Lee Duk Hee (Kyungsangbuk-do KRX), Semiconductor device transfer apparatus.
  16. Butler Robert M. (Tempe AZ), Semiconductor wafer diffusion boat and method.
  17. Bran Mario E. (Garden Grove CA), Single wafer megasonic semiconductor wafer processing system.
  18. Cook Robert C. ; Brors Daniel L., Vertical plasma enhanced process apparatus and method.
  19. Martin, John M.; Harrison, Arthur W.; Edwards, Allen D., Wafer boat support and method for twin tower wafer boat loader.
  20. Bores Gregory W. ; Zabka Michael C., Wafer carrier having a low tolerance build-up.
  21. Nyseth, David L., Wafer container with minimal contact.
  22. Asano Takanobu (Yokohama JPX) Ishii Katsumi (Kanagawa JPX), Wafer counter having device for aligning wafers.
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