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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | UP-0279019 (2006-04-07) |
등록번호 | US-7598614 (2009-10-20) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 2 인용 특허 : 6 |
An interconnect structure which includes a metal-containing cap located atop each conductive feature that is present within a dielectric material is provided in which a surface region of the metal-containing cap is oxidized prior to the subsequent deposition of any other dielectric material thereon.
What is claimed is: 1. An interconnect structure comprising: a dielectric material having at least one conductive feature embedded therein, said at least one conductive feature having a surface that is coplanar with an upper surface of the dielectric material; a metal-containing cap having a thickn
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