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Vacuum pumping device with electronic control of the motor 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • F04B-049/06
출원번호 UP-0846248 (2004-05-14)
등록번호 US-7621721 (2009-12-02)
우선권정보 IT-TO2003A0392(2003-05-28)
발명자 / 주소
  • Carboneri, Roberto
  • Busso, Mario
출원인 / 주소
  • Varian, S.p.A.
대리인 / 주소
    Fishman, Bella
인용정보 피인용 횟수 : 2  인용 특허 : 9

초록

An oil mechanical vacuum pump, which is equipped with an electric motor comprises an electronic control device for supplying the electric motor with power. The electronic control device comprises a frequency converter for controlling the excitation frequency Fecc of the voltage signal SU by which th

대표청구항

What is claimed is: 1. A vacuum pumping device for evacuating a chamber (CV), said vacuum pumping device experiencing in use a plurality of different identifiable operating phases, comprising: an oil mechanical pump (P) comprising: a housing (1) with a suction port (3) and a discharge port (5), the

이 특허에 인용된 특허 (9)

  1. Makoto Kobayashi JP; Masakazu Yamamoto JP; Yoshio Miyake JP; Kaoru Yagi JP; Keita Uwai JP; Yoshiaki Miyazaki JP; Katsuji Iijima JP, Frequency and current control for fluid machinery.
  2. Caldwell Sarah D. ; Elliott Robert Q. ; Francis John E. ; Landon W. Frank ; Smith David M. ; Sturhahn Stephen M., Low RPM switching tachometer.
  3. Hennel Ewald,DEX ; Hennel Maik,DEX, Method for regulating a fluid pressure.
  4. Uchida Riichi (Ibaraki JPX) Matsubara Katsumi (Ibaraki JPX) Tsuru Seiji (Ibaraki JPX), Operation control system of rotary displacement type vacuum pump.
  5. Marando,Eileen M.; Schoepflin,Robert W., Piecewise linear control of the duty cycle of a pulse width modulated signal.
  6. Blotenberg, Wilfried, Process for protecting a turbocompressor from operating in the unstable working range.
  7. Baret Gilles (Annecy FRX) Chicherie Jean-Pierre (Annecy le Vieux FRX) Paquet Jean-Marc (Annecy le Vieux FRX), Pumping apparatus for pumping a gas by means of an oil-sealed vane pump and application to helium leak detectors.
  8. Bosley Robert W. ; Edelman Edward C. ; Lampe Steven W. ; Peticolas Brian W., Turbogenerator power control system.
  9. Murry Roger P. (San Pedro CA), Variable speed turbo vacuum pump.

이 특허를 인용한 특허 (2)

  1. Kang, Min Jae; Lee, Sung Woo; Choi, Hoon, Method and system for controlling electrical vacuum pump.
  2. Birch, Peter, Roughing pump method for a positive displacement pump.
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