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Container capacitor structure and method of formation thereof 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-021/8242
  • H01L-021/70
출원번호 UP-0217742 (2005-09-01)
등록번호 US-7625795 (2009-12-16)
발명자 / 주소
  • Durcan, D. Mark
  • Doan, Trung T.
  • Lee, Roger R.
  • Gonzalez, Fernando
  • Ping, Er Xuan
출원인 / 주소
  • Micron Technology, Inc.
대리인 / 주소
    Leffert Jay & Polglaze, P.A.
인용정보 피인용 횟수 : 2  인용 특허 : 24

초록

Container capacitor structure and method of construction. An etch mask and etch are used to expose portions of an exterior surface of an electrode ("bottom electrodes") of the structure. The etch provides a recess between proximal pairs of container capacitor structures, which is available for formi

대표청구항

What is claimed is: 1. A method of forming a memory cell comprising: forming a bottom electrode of a capacitor having a container shape with exterior and interior surfaces in a supporting dielectric insulation region, the dielectric insulation region abutting a portion of the exterior surface of th

이 특허에 인용된 특허 (24)

  1. Clampitt Darwin A., Cell capacitors, memory cells, memory arrays, and method of fabrication.
  2. Prall Kirk D. ; Fazan Pierre ; Doan Trung ; Lowrey Tyler, Etch process for aligning a capacitor structure and an adjacent contact corridor.
  3. Susak David, Geometrical layout technique for a circular capacitor within an array of matched capacitors on a semiconductor device.
  4. Doan Trung T. ; Figura Thomas A., Integrated capacitor bottom electrode with etch stop layer.
  5. Arakawa Hajime (Nagaokakyo JPX) Yamaoka Osamu (Nagaokakyo JPX) Kakio Motoaki (Nagaokakyo JPX), Manufacturing method for a ceramic capacitor.
  6. Chen Chung-Zen (Hsinchu TWX), Method for fabricating a honeycomb shaped capacitor.
  7. Pan Pai-Hung, Method for forming an integrated circuit container having partially rugged surface.
  8. Ma Manny, Method for forming compact memory cell using vertical devices.
  9. Thakur Randir P. S. (Boise ID) Gonzalez Fernando (Boise ID), Method for optimizing thermal budgets in fabricating semiconductors.
  10. Dennison Charles H. (Boise ID) Ahmad Aftab (Boise ID), Method of forming a bit line over capacitor array of memory cells.
  11. Figura Thomas A. (Boise ID) Prall Kirk D. (Boise ID), Method of forming contact areas between vertical conductors.
  12. Wu Zhiqiang ; Li Li ; Parekh Kunal, Method of making a capacitor.
  13. Philip J. Ireland ; Howard E. Rhodes, Method of making a contact structure.
  14. Dennison Charles H. (Boise ID), Method of producing a self-aligned contact penetrating cell plate.
  15. Dennison Charles H. (Boise ID), Multi-pin stacked capacitor utilizing micro villus patterning in a container cell and method to fabricate same.
  16. Ping Er-Xuan, Process for forming capacitor array structure for semiconductor devices.
  17. Fazan Pierre C. ; Schuele Paul, Scalable high dielectric constant capacitor.
  18. Nakamura Yoshitaka,JPX ; Tamaru Tsuyoshi,JPX ; Fukuda Naoki,JPX ; Goto Hidekazu,JPX ; Asano Isamu,JPX ; Aoki Hideo,JPX ; Kawakita Keizo,JPX ; Yamada Satoru,JPX ; Tanaka Katsuhiko,JPX ; Sakuma Hiroshi, Semiconductor integrated circuit device in which a conductive film is formed over a trap film which in turn is formed over a titanium film.
  19. Saito Masayoshi,JPX ; Nakamura Yoshitaka,JPX ; Goto Hidekazu,JPX ; Kawakita Keizo,JPX ; Yamada Satoru,JPX ; Sekiguchi Toshihiro,JPX ; Asano Isamu,JPX ; Tadaki Yoshitaka,JPX ; Fukuda Takuya,JPX ; Suzu, Semiconductor integrated circuit device, and method of manufacturing the same.
  20. Matsuoka Hideyuki,JPX ; Kimura Shinichiro,JPX ; Yamanaka Toshiaki,JPX, Semiconductor memory device and a method for fabricating the same.
  21. Dennison Charles H. (Boise ID) Walker Michael A. (Boise ID), Semiconductor processing methods of forming stacked capacitors.
  22. Dennison Charles H. ; Walker Michael A., Semiconductor processing methods of forming stacked capacitors.
  23. Ema Taiji,JPX ; Anezaki Tohru,JPX, Semiconductor storage device and method for fabricating the same.
  24. Dennison Charles H., Tapered via, structures made therewith, and methods of producing same.

이 특허를 인용한 특허 (2)

  1. Kim, Hong-Rae; Choi, Byoung-Deog; Park, Hee-Young; Roh, Sang-Ho; Park, Jin-Hyung; Byun, Kyung-Mun, Semiconductor devices including empty spaces.
  2. Kim, Hong-Rae; Choi, Byoung-Deog; Park, Hee-Young; Roh, Sang-Ho; Park, Jin-Hyung; Byun, Kyung-Mun, Semiconductor devices including empty spaces and methods of forming the same.
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