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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | UP-0454865 (2006-06-19) |
등록번호 | US-7635241 (2010-01-08) |
우선권정보 | KR-10-2005-0052915(2005-06-20) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 13 |
There is provided a support platform of a non-contact transfer apparatus. The support platform includes a plurality of first holes for introducing air on a surface of the support platform, and a plurality of second holes for removing the air introduced through the first holes. At least one of a size
What is claimed is: 1. A support platform of a non-contact transfer apparatus, comprising: a plurality of first holes for introducing air on a surface of the platform, each first hole having a plurality of sub-holes symmetrically and radially arranged along a direction from a center portion of each
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