최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | UP-0723808 (2007-03-22) |
등록번호 | US-7642796 (2010-02-11) |
우선권정보 | JP-2004-047567(2004-02-24) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 10 |
A control system and method of a semiconductor inspection system are disclosed, wherein the inspection can be conducted without reducing the reliability of measurement even in the case where the supply voltage drops. The control system has a controller, a power supply for a power on-off circuit cons
The invention claimed is: 1. A method for operating a control system of a semiconductor measurement apparatus, wherein the apparatus comprises a measurement circuit for electrically processing measurement data of an object to be measured; a controller for controlling a measurement operation of the
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.