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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | UP-0677696 (2007-02-22) |
등록번호 | US-7645486 (2010-02-22) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 3 인용 특허 : 17 |
The invention relates to a of manufacturing a silicon dioxide layer of low roughness, that includes depositing a layer of silicon dioxide over a substrate by a low pressure chemical vapor deposition (LPCVD) process, the deposition process employing simultaneously a flow of tetraethylorthosilicate (T
What is claimed is: 1. A method of manufacturing a composite substrate having a buried silicon dioxide layer which comprises: depositing a silicon dioxide layer on a source substrate by: depositing a layer of silicon dioxide upon the substrate using a low pressure chemical vapour deposition (LPCVD)
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