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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | UP-0785682 (2007-04-19) |
등록번호 | US-7655328 (2010-03-31) |
우선권정보 | JP-2006-116952(2006-04-20) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 6 인용 특허 : 1 |
An electrically conductive, plasma-resistant member adapted for exposure to a halogen-based gas plasma atmosphere includes a substrate having formed on at least part of a region thereof to be exposed to the plasma a thermal spray coating composed of yttrium metal or yttrium metal in admixture with y
The invention claimed is: 1. An electrically conductive, plasma-resistant member adapted for exposure to a halogen-based gas plasma atmosphere, comprising: a substrate having formed on at least part of a region thereof to be exposed to the plasma a thermal spray coating comprising yttrium metal in
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