최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | UP-0549738 (2006-10-16) |
등록번호 | US-7655390 (2010-03-31) |
우선권정보 | JP-2003-126185(2003-05-01) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 13 |
A position sensor has an interface structure between negative dielectrics and a dielectric, and is provided with a configuration in which the plasmon intensity with respect to a microstructure in a surface including the interface structure or in the vicinity thereof is detected by the interface stru
What is claimed is: 1. An exposure apparatus comprising: a light source to emit exposure light; a photomask holder to hold a photomask; a stage to hold a substrate to be exposed by the exposure light, by way of the photomask; and a position sensor for sensing a distance between the photomask and th
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.