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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | UP-0397419 (2006-04-03) |
등록번호 | US-7670466 (2010-04-21) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 10 인용 특허 : 121 |
Methods and apparatuses for removing material from a microfeature workpiece are disclosed. In one embodiment, the microfeature workpiece is contacted with a polishing surface of a polishing medium, and is placed in electrical communication with first and second electrodes, at least one of which is s
I claim: 1. An apparatus for removing material from a microfeature workpiece, comprising: a support member configured to releasably carry a microfeature workpiece at a polishing position; first and second electrodes positioned to conduct electrical current to a microfeature workpiece when the micro
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