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Wafer container and door with vibration dampening latching mechanism 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B65D-085/30
출원번호 UP-0651779 (2007-01-10)
등록번호 US-7677393 (2010-04-21)
발명자 / 주소
  • Burns, John
  • Fuller, Matthew A.
  • King, Jeffery J.
  • Forbes, Martin L.
  • Smith, Mark V.
출원인 / 주소
  • Entegris, Inc.
대리인 / 주소
    Patterson, Thuente, Skaar & Christensen, P.A.
인용정보 피인용 횟수 : 7  인용 특허 : 18

초록

A container for holding a plurality of wafers in an axially aligned, generally parallel spaced apart arrangement includes an enclosure portion having a top, a bottom, a pair of opposing sides, a back and an open front. At least one wafer support is provided in the enclosure along with a kinematic co

대표청구항

What is claimed is: 1. A container for holding a plurality of wafers in an axially aligned, generally parallel spaced apart arrangement, the container comprising: an enclosure portion having a top, a bottom, a pair of opposing sides, a back and an open front; at least one wafer support in the enclo

이 특허에 인용된 특허 (18)

  1. Gregerson Barry ; Gallagher Gary ; Wiseman Brian, 300 mm microenvironment pod with door on side.
  2. Scheler Werner,DEX ; Schubert Karl,DEX ; Mages Andreas,DEX ; Anton Andreas,DEX, Arrangement for locking and unlocking a door of a container.
  3. Bores Gregory W. ; Zabka Michael C., Cushioned wafer container.
  4. Hansen Randall C. (Lake Forest IL) Miller Kenneth J. (Gurnee IL), Door fastening means.
  5. David L. Nyseth ; Dennis J. Krampotich, Door guide for a wafer container.
  6. Krampotich Dennis J. ; Nyseth David L., Door guide for a wafer container.
  7. Chang Yu Hsieh TW; Jone Nan Chen TW, Module cover assembly with door latch transmission mechanism for wafer transport module.
  8. Myers W. Neill (Huntsville AL), Releasable clamping apparatus.
  9. Bonora Anthony C. (Menlo Park CA) Rosenquist Frederick T. (Redwood City CA), Sealable transportable container having improved latch mechanism.
  10. Mintz Shalom A. (8416 El Arroyo Dr. Huntington Beach CA 92647), Secondary door locking system.
  11. Fujimori Yoshiaki,JPX ; Takahashi Masato,JPX ; Kamada Toshiyuki,JPX, Storage container for precision substrates.
  12. Gentischer Josef (Weinbergweg 31 73630 Remshalden DEX), System for transferring substrates into clean rooms.
  13. Nyseth David L. ; Krampotich Dennis J. ; Ulschmid Todd M. ; Bores Gregory W., Transport module.
  14. Nyseth David L. ; Krampotich Dennis J., Transport module with latching door.
  15. Eggum, Shawn D., Wafer carrier door and spring biased latching mechanism.
  16. Bores Gregory W. ; Zabka Michael C., Wafer carrier having a low tolerance build-up.
  17. Nyseth David L., Wafer carrier with door.
  18. Bores, Gregory; Zabka, Michael; Gregerson, Barry, Wafer container cushion system.

이 특허를 인용한 특허 (7)

  1. Ku, Chen-Wei; Wang, Sheng-Yuan; Lee, Cheng-Ju, Container for storing semiconductor device.
  2. Salciarini, Christian; Chandelier, Julien; Perbal, Gregory, Cosmetic pot comprising a lid having a tilting coupling member.
  3. Chiu, Ming-Chien; Lu, Pao-Yi; Hung, Kuo Chun, FOUP and robotic flange thereof.
  4. Wang, Chien-Feng; Chiu, Ming-Long; Lu, Shao-Wei; Hsu, Tzu-Jeng, Front opening unified pod with latch structure.
  5. Gregerson, Barry; Fuller, Matthew A., Wafer container with latching mechanism for large diameter wafers.
  6. Chiu, Ming-Chien; Lin, Chin-Ming, Wafer container with oval latch.
  7. Chiu, Ming-Chien; Lin, Chin-Ming, Wafer container with oval latch.
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