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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | UP-0563830 (2006-11-28) |
등록번호 | US-7678194 (2010-04-21) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 1 인용 특허 : 180 |
A method and apparatus for generating gas for a processing system is provided. In one embodiment, an apparatus for generating gas for a processing system includes a canister having at least one baffle disposed between two ports and containing a precursor material. The precursor material is adapted t
What is claimed is: 1. A method for generating gas for a processing system, comprising: providing a precursor material disposed in a lower region of a canister; flowing a carrier gas from an inlet port through an upper region of the canister along an extended mean path to an outlet port, wherein th
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