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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | UP-0787965 (2007-04-18) |
등록번호 | US-7684051 (2010-04-21) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 2 인용 특허 : 216 |
A dual cantilevered beam structure is attached to a silicon frame. An optical fiber extends from a borosilicate wafer bonded to the bottom of the frame. A second borosilicate wafer is bonded to the top of the frame. The bottom borosilicate wafer is bonded to the optical fiber with a bonding agent ha
Having thus described the invention, we claim: 1. An apparatus for measuring seismic movement comprising: a sensor having: a wafer; a frame attached to said wafer; a cantilevered mass pivotally connected to the frame, the cantilevered mass having two beams, on the same side of the cantilevered mass
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