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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | UP-0729086 (2007-03-26) |
등록번호 | US-7692127 (2010-05-20) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 4 인용 특허 : 25 |
A MEMS apparatus includes a substrate; electrical contacts disposed on the substrate; a thermal arch beam supported by and connected between the contacts, the thermal arch beam including a midpoint and a protrusion located at about the midpoint; a lever having an axis of rotation and a bearing surfa
What is claimed is: 1. A MEMS apparatus, comprising: a substrate defining a plane; a pair of electrical contacts being disposed on the substrate; a thermal arch beam being supported by and connecting between the contacts, the thermal arch beam includes a midpoint and a protrusion located at about t
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