최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | UP-0705224 (2007-02-12) |
등록번호 | US-7743661 (2010-07-19) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 8 인용 특허 : 221 |
The present invention relates to an optic seismic MEMS sensor. More specifically, a proof mass is supported by a frame having supporting beams. The proof mass is positioned within the frame and has a hinged attachment to the beams. The proof mass has a sensor gap having a first reflector and a secon
Having thus described the invention, we claim: 1. A fiber optic MEMS seismic sensor comprising: a frame; a proof mass supported by the frame, the proof mass having a hole formed therein, the hole movable with respect to the frame; and a sensor gap defined between a first reflector and a second refl
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.