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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | UP-0732088 (2007-04-02) |
등록번호 | US-7743783 (2010-07-19) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 1 인용 특허 : 17 |
A method and apparatus for recycling a process fluid from a drain of a semiconductor process tool. The process fluid may be an acidic cobalt solution or an electroless cobalt solution used in a semiconductor process step to prevent electromigration in copper interconnects. The used process fluid is
I claim: 1. A method of recycling an acidic cobalt solution from a semiconductor process tool comprising the steps of: reclaiming used acidic cobalt solution from a drain of the semiconductor process tool wherein the used acidic cobalt solution flows from the drain and into a reclaim line; measurin
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