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특허 상세정보

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Multilayer getter structures and methods for making same

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) B32B-005/18   
미국특허분류(USC) 428/613; 428/660; 428/662; 428/670; 252/181.6
출원번호 UP-0152490 (2008-05-13)
등록번호 US-7745014 (2010-07-19)
우선권정보 IT-MI2003A1178(2003-06-11)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
대리인 / 주소
    TIPS Group
인용정보 피인용 횟수 : 1  인용 특허 : 20
초록
▼

Getter multilayer structures are disclosed, embodiments of which include at least a layer of a non-evaporable getter alloy having a low activation temperature over a layer of a different non-evaporable getter material having high specific surface area, both preferably obtained by cathodic deposition. The multilayer NEG structures exhibit better gas sorbing characteristics and lower activation temperature lower than those of deposits made up of a single material. A process for manufacturing such structures includes depositing a first, high surface area NE...

대표
청구항
▼

We claim: 1. A microelectromechanical device comprising a multilayer non-evaporable getter structure, wherein the getter structure comprises: a first layer comprising a non-evaporable getter material having a surface area equivalent to at least 20 times its geometrical area, and a second layer directly contacting the first layer, the second layer having a thickness not greater than 1 μm and comprising a non-evaporable getter alloy having a low activation temperature. 2. The device of claim 1, wherein the second layer fully covers the first laye...

이 특허에 인용된 특허 (20)

  1. Wallace Robert M. (Dallas TX) Gnade Bruce E. (Dallas TX) Shen Chi-Cheong (Richardson TX) Levine Jules D. (Dallas TX) Taylor Robert H. (Richardson TX). Anode plate for flat panel display having integrated getter. USP1995095453659.
  2. Benvenuti, Cristoforo. Arrangement and method for improving vacuum in a very high vacuum system. USP2003046554970.
  3. Conte, Andrea; Mazza, Francesco; Moraja, Marco. Easily loaded and unloaded getter device for reducing evacuation time and contamination in a vacuum chamber and method for use of same. USP2003076589599.
  4. Travis Jonathan A. (Oak Ridge NJ) Woodard ; III Winfred L. (Midland Park NJ). Getter strip. USP1990124977035.
  5. Wong James (Wayland MA). Getter wire. USP1990054925741.
  6. Arai, Yutaka; Hasegawa, Mitsutoshi; Shigeoka, Kazuya. Getter, air tight chamber and image forming apparatus having getter, and manufacturing method of getter. USP2003056559596.
  7. Saito Yoshio. Hydrogen getter for integrated microelectronic assembly. USP2000086110808.
  8. Ray Michael (Goleta CA) Kennedy Adam M. (Santa Barbara CA). Integrated infrared microlens and gas molecule getter grating in a vacuum package. USP1997125701008.
  9. Steinberg Robert (Berea OH) Alger Donald L. (Cleveland OH) Cooper Dale W. (Rocky River OH). Method of forming metal hydride films. USP1977104055686.
  10. Kato Yumiko (Mesa AZ) Petersen Ronald O. (Phoenix AZ). Method of making an ultra-high vacuum field emission display. USP1997115688708.
  11. Nader Najafi ; Sonbol Massoud-Ansari ; Srinivas Tadigadapa ; Yafan Zhang. Methods for prevention, reduction, and elimination of outgassing and trapped gases in micromachined devices. USP2002126499354.
  12. Boffito Claudio (Milan ITX) Barosi Aldo (Milan ITX) Figini Alessandro (Milan ITX). Non-evaporable ternary gettering alloy and method of use for the sorption of water, water vapor and other gases. USP1982014312669.
  13. Boffito Claudio,ITX ; Corazza Alessio,ITX ; Tominetti Stefano,ITX. Nonevaporable getter alloys. USP1999105961750.
  14. Conte, Andrea; Moraja, Marco. Porous getter devices with reduced particle loss and method for manufacturing same. USP2004086783696.
  15. Conte, Andrea; Moraja, Marco. Porous getter devices with reduced particle loss and method for manufacturing same. USP2003096620297.
  16. Conte,Andrea; Moraja,Marco. Porous getter devices with reduced particle loss and method for manufacturing same. USP2006107122100.
  17. Conte Andrea,ITX ; Carella Sergio,ITX. Process for producing high-porosity non-evaporable getter materials and materials thus obtained. USP1999035879583.
  18. Conte Andrea,ITX ; Carella Sergio,ITX. Process for producing high-porosity non-evaporable getter materials and materials thus obtained. USP1999065908579.
  19. Cristoforo Benvenuti FR. Pumping device by non-vaporisable getter and method for using this getter. USP2002106468043.
  20. Sandrock Gary D. (Ringwood NJ) Woodard ; III Winfred L. (Midland Park NJ). Tough and porus getters manufactured by means of hydrogen pulverization. USP1991024996002.

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 1

  1. Coda, Alberto; Gallitognotta, Alessandro; Bonucci, Antonio; Conte, Andrea. Non-evaporable getter alloys particularly suitable for hydrogen and nitrogen sorption. USP2015028961816.

IPC 상위 출원인