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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | UP-0987928 (2007-12-06) |
등록번호 | US-7750293 (2010-07-26) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 7 인용 특허 : 13 |
A method and an apparatus are for three-dimensional tomographic image generation in a scanning electron microscope system. At least two longitudinal marks are provided on the top surface of the sample which include an angle therebetween. In consecutive image recordings, the positions of these marks
What is claimed is: 1. A method for generating three dimensional tomographic image data of a sample with a charged particle microscope, the method comprising the steps of: a) providing on a surface of the sample, two longitudinally extending marks having a distance between respective sections of sa
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