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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | UP-0904804 (2007-09-28) |
등록번호 | US-7757393 (2010-08-09) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 24 인용 특허 : 140 |
Disclosed are moveable microstructures comprising in-plane capacitive microaccelerometers, with submicro-gravity resolution (<200 ng/√Hz) and very high sensitivity (>17 pF/g). The microstructures are fabricated in thick (>100 μm) silicon-on-insulator (SOI) substrates or s
What is claimed is: 1. A method of fabricating a moveable microstructure, comprising: providing a substrate having upper and lower layers; etching trenches in the upper layer to define bonding pads, sense electrodes and a proof mass having capacitive gaps formed therebetween, and a plurality of tet
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