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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | UP-0234012 (2005-09-09) |
등록번호 | US-7762114 (2010-08-13) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 5 인용 특허 : 226 |
A method of fabricating a component for a substrate processing chamber involves providing a preform having internal and external surfaces, and providing a mandrel having a textured surface with a pattern of textured features comprising protrusions and depressions. The internal surface of the preform
What is claimed is: 1. A method of fabricating a shield for a substrate processing chamber, the method comprising: (a) providing a preform having a cylindrical sidewall with internal and external surfaces; (b) providing a mandrel with a textured surface having a pattern of textured features compris
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