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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | UP-0832881 (2007-08-02) |
등록번호 | US-7770231 (2010-08-24) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 42 인용 특허 : 14 |
A method and apparatus are provided that have the capability of rapidly scanning a large sample of arbitrary characteristics under force control feedback so has to obtain a high resolution image. The method includes generating relative scanning movement between a probe of the SPM and a sample to sca
The invention claimed is: 1. A method of operating a scanning probe microscope (SPM) comprising: actuating a piezoelectric actuator assembly to move a probe of the SPM to scan the probe past a sample through a scan range of at least 4 microns at a rate of at least 30 lines/sec and moving the probe
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