최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | UP-0716722 (2007-03-12) |
등록번호 | US-7771571 (2010-08-30) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 11 인용 특허 : 22 |
A sputter coated article is provided with improved mechanical durability (e.g., pre-HT scratch resistance) and/or thermal stability by sputtering at least one Ag inclusive layer in an atmosphere including at least O2 gas. For instance, in certain example embodiments an Ag inclusive target may be spu
What is claimed is: 1. A method of making a coated article including a coating supported by a substrate, the method comprising: sputtering a first dielectric layer on the substrate; sputtering a first contact layer over at least the first dielectric layer; sputtering a target comprising Ag in an at
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.