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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | UP-0627002 (2007-01-25) |
등록번호 | US-7777567 (2010-09-06) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 16 인용 특허 : 38 |
A radio frequency (RF) generator for applying RF power to a plasma chamber includes a DC power supply (B+). A radio frequency switch generates the RF power at a center frequency f0. A low-pass dissipative terminated network connects between the DC power supply (B+) and the switch and includes operat
What is claimed is: 1. A radio frequency generator for applying RF power to a load, comprising: a DC power supply; at least one switch that generates the RF power at a center frequency; and a low-pass terminated network connected between the DC power supply and the switch and having a first cutoff
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