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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | UP-0746332 (2007-05-09) |
등록번호 | US-7798703 (2010-10-11) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 1 인용 특허 : 19 |
An apparatus and method is described for measuring a local surface temperature of a semiconductor device under stress. The apparatus includes a substrate, and a reference MOSFET. The reference MOSFET may be disposed closely adjacent to the semiconductor device under stress. A local surface temperatu
The invention claimed is: 1. An apparatus for measuring temperature, comprising: a substrate; and a reference MOSFET, supported by the substrate and adjacent to a semiconductor device such that current through the reference MOSFET is representative of a temperature of the semiconductor device when
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