최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | UP-0525502 (2003-08-19) |
등록번호 | US-7823730 (2010-11-22) |
우선권정보 | JP-2002-265596(2002-09-11); JP-2002-275495(2002-09-20) |
국제출원번호 | PCT/JP2003/010465 (2003-08-19) |
§371/§102 date | 20050223 (20050223) |
국제공개번호 | WO04/025721 (2004-03-25) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 8 인용 특허 : 18 |
A substrate storage container which includes: a front-opening box type container body for storing a multiple number of substrates in alignment therein; a door for opening and closing the open front of the container body in a sealing manner; and inner-pressure adjustment devices attached to the mount
The invention claimed is: 1. A substrate storage container including: a container body of a front-opening box for storing substrates therein; a door for opening and closing the front of the container body; an attachment hole formed in at least one of the container body and the door; and an inner-pr
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.