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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | UP-0018109 (2008-01-22) |
등록번호 | US-7847469 (2011-01-31) |
우선권정보 | JP-2007-018810(2007-01-30) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 2 인용 특허 : 12 |
A micro-cantilever of a simple structure and capable of obtaining a larger displacement at a low voltage including a plate-like piezoelectric substrate having electrode films as an upper electrode and a lower electrode formed on both surfaces thereof, a plate-like resilient member in close contact w
What is claimed is: 1. A micro-cantilever comprising: a substantially rectangular plate-like piezoelectric substrate having an upper electrode formed substantially over the entire surface on one surface and a lower electrode formed substantially over the entire surface on the other surface thereof;
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