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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0532491 (2006-09-15) |
등록번호 | US7862662 (2010-12-20) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 4 인용 특허 : 97 |
Methods for cleaning using a tri-state body are disclosed. A substrate having a particle deposited thereon is provided. A tri-state body that has a solid portion, liquid portion, and a gas portion is generated. A force is applied over the tri-state body to promulgate an interaction between the solid
What is claimed is: 1. A cleaning method, comprising:providing a substrate having a surface, the surface having a particle thereon;generating a tri-state body comprising a solid portion, a liquid portion, and a gas portion;applying a force over the tri-state body to promulgate an interaction between
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