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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0046073 (2008-03-11) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 1 인용 특허 : 22 |
A semiconductor topography is provided which includes a silicon dioxide layer with a thickness equal to or less than approximately 10 angstroms and a silicon nitride layer arranged upon the silicon dioxide layer. In addition, a method is provided which includes growing an oxide film upon a semicondu
What is claimed is: 1. A method for processing a semiconductor topography, comprising:growing an oxide film upon the semiconductor topography in the presence of an ozonated substance comprising ozonated deuterium oxide, wherein growing the oxide film comprises growing the oxide film to a thickness l
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