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특허 상세정보

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Getter metal alloy coating and device and method for the production thereof

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) H05H-001/48   
미국특허분류(USC) 427/580; 427/540; 427/569; 427/570; 427/571; 427/576; 204/19238; 204/29841
출원번호 US-0505254 (2003-02-27)
등록번호 US7871679 (2011-01-03)
우선권정보 DE-2002-02 09 423(2002-03-05)
국제출원번호 PCT/EP03/02031 (2003-02-27)
§371/§102 date 20050406 (20050406)
국제공개번호 WO/074753 (2003-09-12)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
대리인 / 주소
    Frommer Lawrence & Haug LLP
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 4
초록
▼

The invention relates to a coating comprising a getter metal alloy and to an arrangement and method for the production thereof. The coating therein consists of a non-vaporizing getter metal alloy (2) for an inner wall (3) of a high-vacuum vessel (4). The arrangement basically consists of a metal plasma generator (7), which in turn comprises an insulator member (8), which carries an ignition electrode (9) and a cathode wire (10) comprising a getter metal alloy (2). Those three components are surrounded by a cage-like anode member (13), which together with...

대표
청구항
▼

The invention claimed is: 1. A method for the production of a coating comprising a non-vaporising getter metal alloy on an inner wall of a high-vacuum vessel to be coated, the getter metal alloy comprising at least one getter metal having a melting point above 1,500° C. and a vaporisation temperature above 3,000° C., and the method comprising the following method steps:ignition of a light arc between a cathode wire wound on an insulator rod comprising a getter metal alloy and an anode member by means of a high-voltage ignition pulse,continuing conversion...

이 특허에 인용된 특허 (4)

  1. Welty Richard P. (Boulder CO). Apparatus and method for coating a substrate using vacuum arc evaporation. USP1993125269898.
  2. Beers Russell A. ; Hendricks Robert E. ; Marszal Dean N. ; Noetzel Allan A. ; Wright Robert J. ; Royal Tyrus E.. Cathodic arc vapor deposition apparatus. USP1999085932078.
  3. Cristoforo Benvenuti FR. Pumping device by non-vaporisable getter and method for using this getter. USP2002106468043.
  4. Johnson Richard Franklin (Crystal MN). Stabilized plasma arc injector. USP1997115688416.

IPC 상위 출원인