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Flow controller delivery of a specified-quantity of a fluid 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B67D-007/30
출원번호 US-0407837 (2006-04-20)
등록번호 US7971604 (2011-06-21)
발명자 / 주소
  • McDonald, R. Michael
  • Smirnov, Alexei V.
  • Lee, Brian
  • Zolock, Michael John
출원인 / 주소
  • Hitachi Metals, Ltd.
대리인 / 주소
    Neugeboren, O'Dowd
인용정보 피인용 횟수 : 5  인용 특허 : 19

초록 ▼

A system and method for delivering a specified-quantity of a fluid using a flow controller based on a fluid delivery profile is described. One embodiment includes a fluid delivery profile that includes a delivery time window with a plurality of set points that each correspond with a specified instan

대표청구항 ▼

What is claimed is: 1. An apparatus for delivering a molar quantity of gas, comprising:a memory configured to store a gas-specific-delivery-profile prior to initiating gas delivery, the gas-specific-delivery-profile cotemporaneously including a plurality of valve indicators that define (i) a plurali

이 특허에 인용된 특허 (19)

  1. Hinkle Luke D. (Townsend MA), Apparatus for mass flow measurement of a gas.
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  2. Maruyama Eisuke (Kawasaki JPX) Kobayashi Hiromitsu (Yokohama JPX) Mitsuhashi Masakazu (Kawasaki JPX) Takeuchi Hiromichi (Yokohama JPX) Futamura Yoshiki (Funabashi JPX) Suzuki Naohito (Kawasaki JPX), Apparatus for supplying fluid of predetermined quantity.
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  3. Ramamurthi Krishnamoorthy (Dallas TX), Apparatus, systems, and methods for diagnosing anomalous mass flow controller operation.
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  4. Hsiung, Chang-Meng B.; Munoz, Bethsabeth; Roy, Ajoy Kumar; Steinthal, Michael Gregory; Sunshine, Steven A.; Vicic, Michael Allen; Zhang, Shou-Hua, Control for an industrial process using one or more multidimensional variables.
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  5. Tulley Michael K. (Edmonton CAX) Paton Richard D. (Edmonton CAX), Dispensed liquid volume control system.
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  6. Orsborn Brian Joseph,GBX, Drinks-dispensing apparatus.
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  7. Wilmer Michael E., Dynamic gas flow controller.
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  8. Louis A. Ollivier, Flow control of process gas in semiconductor manufacturing.
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  9. Anderson Richard L. (Austin TX), Intelligent mass flow controller.
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  10. Burns Harry A. ; Larson Brent H. ; Brown Larry K., Local device and process diagnostics in a process control network having distributed control functions.
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  11. Bump Scott S. ; Campbell Gary P. ; Dille Joseph C. ; White William W., Method and apparatus for detecting and controlling mass flow.
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  12. Bretmersky Carl A. ; Hall Robert C. ; Klein Richard G., Method of compensating for changes in flow characteristics of a dispensed fluid.
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  13. Irokawa Kenji,JPX ; Aki Tomohiko,JPX, Positioner and its setting method.
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  14. Hartsell ; Jr. Hal C., Precision fuel dispenser.
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  15. Czajka Dennis C. (Bellevue WA) Nordstrand David P. (Bellevue WA), Programmable pressure regulator for titanium superplastic forming apparatus.
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  16. Michael Saveliev ; Thomas Gagliano, Rapid comestible fluid dispensing apparatus and method.
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  17. Tinsley, Kenneth E.; Tariq, Faisal, System and method of operation of a digital mass flow controller.
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  18. Chang, Young-Chul, Time based mass flow controller and method for controlling flow rate using it.
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  19. Brown Timothy R. ; Judd Daniel R., Wide range gas flow system with real time flow measurement and correction.
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이 특허를 인용한 특허 (5)

  1. Cabrera, Rafael A.; Sanchez, Jaime, Dynamic-adaptive vapor reduction system and method.
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  2. Cabrera, Rafael A.; Sanchez, Jaime, Dynamic-adaptive vapor reduction system and method.
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  3. Tanaka, Yuki; Takahashi, Akito, Fluid control system.
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  4. Sowieja, Michael; Gehl, Michael; Albiez, Christoph; Hatch, Paul; Mitchell, Thomas; Mucci, David; Rostlund, Anders Olof, Food product dispenser and valve.
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  5. Sowieja, Michael, Tool.
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