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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0362009 (2009-01-29) |
등록번호 | US7971861 (2011-06-21) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 24 인용 특허 : 42 |
Containers for providing vapor phase reactant from liquid sources include bubbler designs and designs in which carrier gas flows over the liquid surface. Among the bubbler arrangements, a bypass conductance is provided to release excess pressure from the gas volume inside the container, or an enlarg
I claim: 1. A liquid source chemical vaporizer for vaporizing liquid source chemical and delivering vapor phase chemical to a vapor deposition reactor, the source chemical vaporizer comprising:an outer container configured to hold liquid source chemical, the outer container at least partially defini
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